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產品特色
薄翹曲晶圓傳輸： 非接觸式、渦流（伯努力）輔助邊緣夾爪／翻轉器和晶圓預對位器；獨家SoftTouch 設計，以可控恆定的夾持力實現穩固夾持，適用 8 吋 或 12 吋
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