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產品特色
碳化矽 （SiC） 或其它化合物半導體晶圓傳輸之邊緣夾爪（25 槽隨機取放）和重力對位器；獨家SoftTouch 設計，以可控恆定的夾持力實現穩固夾持，適用6 / 8 吋，手動尺寸更換
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