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產品特色
提供由晶圓八角太空盒取放晶圓及傳送至 Cassette/ SMIF之自動化解決方案；系統將偵測盒內晶圓距離，可安全地由晶圓之正面進行取/放，系統可分辧多種材及顏色之隔離材料 (Separator) ，並偵測重曡之隔離紙以放於正確之位置。 可正反面取放 6”或8” ，50微米到1500微米厚之翹曲晶圓
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