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半導體晶圓廠自動導引車和自主移動機器人系列

產品型號:

產品分類: 智慧製造與系統整合

廠商:

群亮力科技股份有限公司

攤位號碼: S230

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產品特色
我們為半導體晶圓廠提供潔淨室級別的 AGV/AMR，用於處理晶圓載體如 8吋 SMIF pod 和 12吋 FOUP 之傳輸。憑藉 20 餘年半導體/面板自動化經驗，透過 SEMI 標準協議，我們幫助傳輸系統與上位主機和設備進行交握整合。
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