非接觸式3D光學表面輪廓儀

ZegagePRO白光干涉儀，是Zygo最新創新技術的濃縮經典款機型。不僅包含了Zygo的最先進量測技術，量測的重複再現性可低至3.5nm.垂直高度可量測達到20,000um.且不占空間，重量僅僅54kg. 全新Surescan 避震技術，可讓你的設備直接放在加工機旁邊，量測結果也不會受到影響。

主要特點-
※採用SWLI白光干涉技術，量測範圍可達 20,000um高度，讓你的量測更無後顧之憂。
※Surescan 避震技術，讓你的量測結果不受到外在環境震動與擾動的影響
※量測精度高，速度快。
※奈米等級的量測，提供你更具信賴度的報告。
※簡約乾淨的外觀，將不必要的線材漸少到最低，讓你的工作平台有更多的空間可以置放你的商品。
※設備不占空間，且無需防震桌來避震。
※新Mx軟體介面，操作上更為簡單，快速協助找尋量測干涉位置。易上手，減少人員Training的時間
※提供由Zygo工廠製造的目鏡與物鏡(最大working distance可達20.5mm)，且選擇多樣，讓你的量測沒有極限。

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