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產品特色
Smart Sensing Wafer 智慧晶圓感測器專為半導體晶圓搬送與設備狀態監控設計，整合三軸振動、雙軸水平、溫濕度量測與資料記錄功能，可即時掌握 Robot、Stage、OHT、FOUP、EFEM 等傳送過程中的穩定性變化。透過無線藍牙傳輸與內建 Flash CSV 紀錄，協助客戶快速發現異常振動、水平偏移與環境變化，提升設備校準效率、製程穩定度與預知保養能力。
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