熱式微小液體流量計

採用在氣體流量計有豐富實績的熱式MEMS感測器，與高耐腐蝕石英玻璃製流路組合，實現了以往的量測方式難以達到高重複性的數ml/min的微小液體瞬時、累計流量的計測。
與以往的量測方式相比，更不受到流體狀態的變化（氣泡、脈動、流體溫度等）的影響（可能需要變更設定）。可簡易地量測到微小流量。藉由量測流量，取代使用幫浦迴轉數管理、重量測定、流體供給時間管理等的替代方式，可達到更高信賴性的數據管理。
另外也可利用事件功能，檢測空配管或氣泡混入、監視脈動的狀態等。

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